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| ▲ 사진=에프알디 [출처/홈페이지 캡쳐] |
국내 반도체 공정용 특수가스 전문기업인 에프알디가 9일 고순도 크립톤(Kr) 양산제품을 출하 한다고 7일 밝혔다.
에프알디의 크립톤(Kr)은 제논(Xe)과 더불어 대기중 함유량이 0.00011%(제논 0.000009%)에 불과한 희귀가스 중 하나이며, 분리·정제가 매우 까다로운 가스이다.
희귀가스인 크립톤(Kr)과 제논(Xe)은 우주항공분야 등에서 핵심소재로 사용되어 왔으며, 반도체 산업에서는 NAND FLASH Memory의 고집적화, 초미세화에 따라 에칭공정에서 기존의 아르곤(Ar) 가스를 빠르게 대체해 왔으며, 세계적으로 NAND FLASH Memory의 생산량이 증가함에 따라 빠른 속도로 수요가 증가하고 있는 핵심소재이다.
업체는 자료를 통해, 지난 3년여간 러시아, 우크라이나 등을 수차례 오가며 원자재 공급처 확보에 최선을 다 하였으며, 반도체용 초고순도 Xenon, Krypton 정제시설 개발 및 양산시설 셋업과 품질관리 시스템, 반도체 NAND FLASH Etching 공정 Test도 완료했다고 밝혔다.
이와 관련해 에프알디의 박규홍 대표는 본지와의 통화에서 “얼어붙은 경제상황 속에서 3년간의 준비기간을 통해 반도체 소재업체 중 크립톤(Kr) 가스 양산제품을 출하 한 직원들 노고에 감사한다” 며 소감을 말했다.
에프알디는 대규모의 크립톤과 제논을 각각 정제할 수 있는 설비와 초 고순도 품질관리 시스템을 보유하고 있으며, 고순도 아산화질소(N2O)합성 및 정제 시설과 이산화탄소(CO2)정제설비를 보유하고 있다.
또한 정부과제를 통해 고순도 삼불화붕소(BF3)를 이용한 디보란(B2H6) 합성 및 정제 공정을 개발중이며, 온난화 대체가스도 개발하고 있다. 기술 개발완료 후 기존 가스업체와의 협업을 통하여 기술이전이나 양산 협력모델도 가능할 것으로 내다보고 있다.
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